隨著工業化水平的不斷提高，人為大氣污染物在大氣污染物總量中所占的比例越來越大，對人類健康的危害越來越大。目前，排放更多空氣污染物的工業部門包括：石油和化學工業、冶金工業、電力工業、建材工業等。工業廢氣污染處理工業排放的主要有害氣體污染物為NOx、SO2、P、Co、鹵代烴和揮發性有機化合物（VOC）

硝酸生產尾氣、煙氣、石灰窯氣和其他工業廢氣中的NOx

硝酸生產過程中排放大量含氮氧化物的硝酸尾氣。NOx不僅對人類和生物體具有劇毒，還導致產生光化學煙霧，危害極大。中國有50多家硝酸生產廠。硝酸尾氣中NOx濃度一般為500~5000ppm，每年排放到大氣中的NOx（以NO2計算）約為6萬噸。如果可以回收這些NOx，不僅可以控制對環境的污染，而且可以增加硝酸并降低生產成本。工業廢氣處理設備

黃磷尾氣

中國每年生產40萬噸黃磷。在生產過程中，每噸黃磷將產生2500 Nm3尾氣，每年產生的尾氣量達10億Nm3，主要成分為一氧化碳（約85%~90%）。CO是一種易燃、易爆和有毒氣體。尾氣中含有的P、s、as、F等有毒成分及其化合物，如果不經處理排放到大氣中，也會嚴重污染環境；同時，CO也是一種重要的碳化工原料，尾氣中所含的P、s極易毒害催化劑，因此有效處理黃磷尾氣具有重要意義。

二氧化硫

氧化硫主要是二氧化硫，是大氣中數量大、分布廣、影響嚴重的環境污染物之一。目前主要控制方法包括：高煙囪稀釋法、低硫燃料、廢氣脫硫等，近年來，在干法（廢氣吸附處理）和濕法脫硫技術領域開展了更多研究，工業應用已經非常成熟。吸附法去除廢氣中的SO2，分為物理吸附法和化學吸附法。在物理吸附期間選擇性吸收的SO2可以通過升高溫度或降低壓力來解吸。在化學吸附過程中，吸附劑同時充當催化劑。成都工業廢氣處理吸收的SO2被廢氣中的氧氣氧化成SO3，后者與水形成硫酸。目前，國內關于吸附凈化SO2的報道大多是實驗研究報告。

含鹵代烴（如三氯乙烯和三氯乙烷）的廢氣

目前，處理含鹵代烴廢氣較為成熟的技術是溶劑吸收或吸附，如：（1）彩色顯像管生產線上清洗蔭罩時揮發的三氯乙烷氣體刺激人體粘膜，長期接觸會損傷運動神經系統，從環境保護和降低生產成本的角度來看，必須回收。（2） 三氯乙烯是一種對人體和環境有害的有毒污染物，在工業中應用廣泛。在排放含有三氯乙烯的工業廢氣之前，必須去除標準C含量的TCE。

含有高沸點有機物的尾氣

目前，通過吸附凈化和回收廢氣中有機成分的工業應用比較成功。通常使用的工藝是TSA或PTSA工藝，它不僅可以有效去除有機污染物，還可以回收有用成分。四川廢氣處理

一氧化碳

CO是一種易燃、易爆、有毒氣體，未經處理排入大氣會嚴重污染環境。因此，嚴格控制廢氣中CO含量具有重要意義。四川廢氣處理

含氟廢氣

雖然含氟（主要是HF和SiF4）廢氣的量不如硫氧化物和氮氧化物，但其毒性大，對人體的危害是SO2的20倍，因此，必須控制工業生產廢氣中含氟化合物的排放。

工業二氧化碳

近年來，由于二氧化碳排放量增加（每年約有50億噸碳以二氧化碳的形式排放到大氣中），大氣中的二氧化碳從工業污染時代的270ppm上升到近500ppm。大氣中大量二氧化碳的積累引發了全球溫室效應，引起了人們的關注。

城市廢氣

隨著城市化建設規模的不斷擴大，城市每天產生的垃圾量急劇增加。目前，空氣燃燒主要用于處理人類生活垃圾。每天焚燒垃圾產生大量含有VOC的有毒廢氣，對環境造成極大污染。